FMSR-AB高精度气浮转台:我们研发的FMSR-AB系列气浮转台采用经过特殊设计的空气轴承,该轴承分别对刚度、承载能力和刚度进行了优化。与传统的轴承相比,采用气体为润滑剂,因此所有运动都是无接触的,因此在整个使用寿命之内,设备的性能保持不变,并且无需进行特殊维护。该旋转台采用气体轴承可提供平稳的运动并拥有极低的俯仰、偏摆、滚动、偏航和线性误差。
FMSR-DHA系列高性能直驱旋转台:FMSR-DHA系列是采用绝对值编码器有铁芯电机。与原来的FMSR-DH 系列相比,FMSR-DHA系列不惧怕灰尘和油污等恶劣的应用环境。且使用的是绝对值编码器,而不是增量值编码器。
FMSR-DH系列高性能直驱旋转台:我们在FMSR-D系列的基础上推出了新的FMSR-DH系列直驱旋转台,直驱旋转电机FMSR-DH系列与FMSR-D系列类似,同样是无铁芯型永磁电机。不同的是其通过独到的机械设计实现电机的扁平特性以及大中孔特性。适用于对高度有特殊要求的应用。
FMSR-DA系列高性能直驱旋转台:FMSR-DA系列是采用 Biss-协议的绝对值编码器有铁芯电机。与原来的FMSR-D 系列相比,FMSR-DA系列不惧怕灰尘和油污等恶劣的应用环境。且使用的是绝对值编码器,而不是增量值编码器。重复精度可以达到 士1.5 arc sec以内。最重要的一点是,不用做误差补偿,绝对精度可以达到士15 arc sec以内。
FMSR-D系列高性能直驱旋转台:随着直驱技术不断进步,直驱电机凭借高转速,高精度,高承载等特点逐渐取代了科研和工业上大量应用的“电机+蜗轮蜗杆”结构的旋转台。我们推出的FMSR-D系列直驱旋转台,涵盖了有铁芯电机、无铁芯电机、绝对式光栅尺、增量式光栅尺等技术,以其高一个数量级的精度、速度以及更美观的外形设计取代了传统蜗轮蜗杆结构旋转台。
FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台:在FMS80基础上,我们设计了FMS80V系列真空专⽤位移台。FMS80V广泛适用于真空环境的应⽤中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台:在FMS120系列基础上,我们设计了FMS120V系列真空专用位移台。FMS120V广泛适用于真空环境的应用中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台:在FMS80R系列基础上,我们设计了FMS80VR系列真空专用位移台。FMS80VR广泛适用于真空环境的应用中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运⾏。
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