FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台:在FMS120系列基础上,我们设计了FMS120V系列真空专用位移台。FMS120V广泛适用于真空环境的应用中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
FMS80VR真空步进电机高精度整体台面平移台:在FMS80R系列基础上,我们设计了FMS80VR系列真空专用位移台。FMS80VR广泛适用于真空环境的应用中,在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运⾏。
FMSZ真空步进电机升降台:我们开发的FMSZ系列真空步进电机升降台。经过特殊设计,方便与我们的其余产品搭建成多维位移台。承载高,并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
FMSXXY170Z-200-200直线电机龙门双驱平台:我们研发的⼤理石龙门双驱位移台,双向重复定位精度可达亚微米级。行程、精度、承载均可定制。采用双驱结构,同步性更好、承载更高。Y轴可挂载Z轴。结合CCD等器件,可做成套设备交付客户使用。
FMSXY系列步进电机二维扫描台:我们研发的⼀体化步进二维位移台。控制器可内置。双向重复定位精度和微步能力*。结构小巧,易于配套集成。可配标准FMC01系列控制器应用,也提供SDK给客户做⼆次开发。
FMSXY系列直线电机中空二维扫描平台:我们开发的此款⼆维扫描位移台,采用了直驱技术,速度快,精度高,承载⼤。非常适合于需要⼆维运动的设备和应⽤。配合菲克科技的高性能控制器能实现:位置记忆,位置触发,任意平⾯图形导⼊。适合与显微镜⼀起使⽤,同时提供配套附件,可用于市⾯上⼤多数显微镜。
FMSXY系列直线电机二维扫描台:我们开发的整体⼆维位移台,应用于⼀些特殊应⽤场合。亚微⽶级精度,⼀体化设计,高可靠性,可用于各种需要⼆维运动的场合。配合FMC04控制器使⽤,具有微动,高速,低速等特性。
FMSZ-C系列直线电机升降台:我们的直线电机垂直升降台,可选择恒力弹簧配重和气缸配重两种版本。特别适用于对尺寸有特殊要求,且对Pitch,Yaw要求严苛的应⽤场合。在高精度检测、精密实验室基本建设等应用环境下,FMSZ-C系列升降台具有结构简单且拥有优秀的微步能力和位置稳定性的特点。
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